紫外光刻機(曝光機)

紫外掩模光刻系統。BTA-1000型是一款桌面式掩模光刻機，簡易的潔淨室空間。做為科研或學數單位使用，有限的規模試產。
利用真空吸盤校平系統，可快速平穩地校平基板，以便在接觸曝光期間實現平行光掩膜對齊和晶片均勻接觸。該系統具有最小線寬2um的解析度和對準精度。
對準模組具有晶圓卡盤，便於使用各種基材和掩模。對齊模組包含X，Y的千分尺，Z軸高度可馬達調整。